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11月17日，盛好意思上海(688082)秘书，已向当先的面板制造客户奏凯托福首台面板级先进封装电镀成就Ultra ECP ap-p。
据先容，Ultra ECP ap-p是面向大面板市集的首台商用面板级铜电镀系统，复古凸柱、凸块和再漫衍层（RDL）工艺中的电镀阵势。该系统兑现了可与传统圆形晶圆工艺相失色的面板处感性能，使制造商简略愈加高效地倨傲严苛的器件条目。
盛好意思上海总司理王坚暗示：“奏凯托福Ultra ECP ap-p订单彰显了凭借互异化鼎新，咱们有技艺提供高性能面板电镀惩办决策，以匡助客户加快鼓励扇出型面板级封装工夫蓝图，同期沉稳咱们在先进封装生态体系里的伏击地位。跟着市集对新一代器件需求的增长，面板级封装提供了大规模坐蓐所需的可彭胀性、产能和本钱上风，这将兑现业界从300毫米晶圆封装到面板级封装的无缝过渡。”
据了解，该系统接受ACM专利请求保护的水平电镀工夫，并复古铜、镍、锡银及金等多材质电镀工艺。其中，铜电镀腔体配备了专为高凸柱欺骗狡计的高速电镀桨叶，简略兑现逾越300微米的凸柱高度。Ultra ECP ap-p成就接受四边密封干式斗殴卡盘以进步可靠性，配备电镀腔内清洗功能以最大限度减少不同电镀腔之间的化学交叉玷辱，并接受水平电镀狡计——通过同步旋转卡盘与旋转矩形电场兑现不凡的膜厚均匀性。
盛好意思上海是一家为半导体前谈和先进晶圆级封装欺骗提供晶圆工艺惩办决策的供应商。凭借丰富的工夫和工艺积存，公司酿成了平台化的半导体工艺成就布局，包括清洗成就、半导体电镀成就、立式炉管系列成就、前谈涂胶显影Track成就、等离子体增强化学气相千里积PECVD成就、无应力抛光成就、面板级先进封装成就、后谈先进封装工艺成就以及硅材料衬底制造工艺成就等。
除了本次的Ultra ECP ap-p天元证券官网-在线股票杠杆_线上炒股配资平台，盛好意思上海在本年9月还秘书推出首款KrF工艺前谈涂胶显影成就Ultra LithKrF，旨在复古半导体前端制造。首台成就系统已于9月托福中国头部逻辑晶圆厂客户。
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